2023-02-27等離子蝕刻機(jī)工藝說明
等離子蝕刻機(jī)蝕刻加工可分為兩個(gè)全過程:,等離子里的有機(jī)化學(xué)活性組分,這種活性組分與液體原材料化學(xué)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng),形成揮發(fā)物化學(xué)物質(zhì),同時(shí)向表面擴(kuò)散、排出來。以CF4為例子,其電離度物F與S反應(yīng)生成SiF4汽體,在含Si原材料的表面形成微切削構(gòu)造。等離子蝕刻加工就是指正離子蝕刻加工、磁控濺射蝕刻加工和等離子灰化等過程。
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